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专利名称
专利号
A:人类生活需要
B:作业,运输
C:化学,冶金
D:纺织和造纸
E:固定构造
F:机械工程
G:物理
H:电学
分 类 >>
G:物理
>> 图纹面的照相制版工艺,例如:印刷工艺,半导体器件的加工工艺;其所用材料;其所用原版;其所用专用设备
名称
专利号
申请者
地址
微缩文字图案模具制作方法
CN01111132
严化平
132012吉林省吉林中西医结合医院孔丽萍转严化平
图形形成材料和形成方法以及曝光用掩模的制造方法
CN01111868
株式会社东芝
日本神奈川县
平版印刷版用支撑体及平版印刷版
CN01115735
富士胶片株式会社
日本国神奈川县
用于曝光印刷版的小型多束激光光源和隔行光栅扫描线法
CN01115781
海德堡印刷机械股份公司
联邦德国海德堡
图案轮廓的即时监测的方法
CN01116181
矽统科技股份有限公司
台湾省新竹科技园区
用于照相制板工艺的增加聚焦深度的方法
CN01116638
华邦电子股份有限公司
台湾省新竹市新竹科学工业园区研新三路4号
多重曝光方法
CN01117029
南亚科技股份有限公司
台湾省桃园县
曝光装置、基片处理单元和光刻系统及器件制造方法
CN01118812
株式会社尼康
日本东京
带有光产酸剂的含光自由基产生剂的光致抗蚀剂组合物
CN01118895
海力士半导体有限公司
韩国京畿道
减少光刻工艺中光学近接效应偏差的方法
CN01119767
华邦电子股份有限公司
台湾省新竹市新竹科学工业园区研新三路4号
负像记录材料和图像形成方法
CN01120322
富士胶片株式会社
日本国神奈川县
用于集成电路光刻系统中的线阵光源扫描装置
CN01120600
清华大学
100084北京市海淀区清华园
利用普通紫外光深刻层光刻的分离曝光工艺方法
CN01120961
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
130022吉林省长春市人民大街140号
曝光装置
CN01121642
株式会社尼康
日本东京
光刻装置和曝光方法
CN01121643
株式会社尼康
日本东京
形成具有抗蚀刻效应的光阻的方法
CN01122794
旺宏电子股份有限公司
台湾省新竹科学工业园区新竹市力行路16号
非光致成像陶瓷带形成图案的方法
CN01122854
纳幕尔杜邦公司
美国特拉华州
平版印刷的印刷板的制备方法
CN01125460
富士胶片株式会社
日本神奈川县
对绿光敏感的光致聚合物全息记录材料及其制备方法
CN01126357
中国科学院上海光学精密机械研究所
201800上海市嘉定区嘉定镇清河路390号
光学近接修正的方法
CN01129289
旺宏电子股份有限公司
中国台湾新竹科学工业园区力行路16号
化学增强型正光刻胶组合物和锍盐
CN01129511
住友化学工业股份有限公司
日本国大阪市
含脂环族溶解抑制剂的正光刻胶组合物
CN01129568
美国永光公司
美国北卡罗来纳州
通过沉积物与光阻产生交联反应以减少光阻粗糙度的方法
CN01129600
旺宏电子股份有限公司
台湾省新竹科学工业园区力行路16号
负性光敏平版印刷版
CN01133836
富士胶片株式会社
日本神奈川县
感光性平版印刷版
CN01134562
富士胶片株式会社
日本国神奈川县
位置偏移光学测定装置的调整装置和调整方法
CN01134973
株式会社尼康
日本东京
化学放大型正光刻胶组合物
CN01135041
住友化学工业株式会社
日本国大阪府
用于束曝光的掩模及其制造方法
CN01136558
日本电气株式会社
日本东京
曝光方法
CN01137027
索尼株式会社
日本东京
用于制造显示面板的掩模
CN01138161
LG电子株式会社
韩国汉城市
感光组合物
CN01139305
富士胶片株式会社
日本国神奈川县
光刻胶树脂,化学增强光刻胶组合物及图样的形成方法
CN01140069
日本电气株式会社
日本国东京都
光刻胶用剥离液组合物
CN01141490
株式会社德成
韩国京畿道
并行处理式光学测距仪
CN01142047
海德堡印刷机械股份公司
联邦德国海德堡
用一次光刻产生T形栅的移相掩模光刻方法
CN01142117
信息产业部电子第十三研究所
050081河北省石家庄市合作路113号
设计电子束掩模的方法和装置
CN01142254
日本电气株式会社
日本东京
光敏平版印刷版
CN01142781
富士胶片株式会社
日本国神奈川县
基板曝光装置
CN01143415
威盛电子股份有限公司
台湾省台北县新店市中正路533号8楼
用于阵列式集成电路光刻扫描装置的线阵光源
CN01144580
清华大学
100084北京100084-82信箱
薄膜和薄膜的制造方法以及薄膜用粘合剂
CN01144607
三井化学株式会社
日本国东京都
光感应性SiO2凝胶薄膜制备及其微细图形制作方法
CN01145262
西安理工大学
710048陕西省西安市金花南路5号
光掩模的制造方法
CN01145446
株式会社东芝
日本东京都
衬底处理装置和处理方法
CN01145768
株式会社东芝
日本东京都
曝光机的电路板对位装置
CN01218815
川宝科技股份有限公司
中国台湾
曝光机曝光框的掀启装置
CN01218866
川宝科技股份有限公司
中国台湾
光阻剥离装置
CN01219111
铼宝科技股份有限公司
台湾新竹县竹北市竹仁里仁义路65号
曝光机的能量积算控制器
CN01258611
梁茂忠
510850广东省广州市花都区狮岭镇第二工业区利和路6号志圣科技(广州)公司
药液涂敷装置及药液涂敷方法
CN200510074289
松下电器产业株式会社
日本大阪府
基于等离子波的纳米光刻光学装置
CN200510011971
中国科学院光电技术研究所
610209四川省成都市双流350信箱
光刻机投影物镜奇像差原位检测方法
CN200510026450
中国科学院上海光学精密机械研究所
201800上海市800-211邮政信箱
气体产生量少的薄膜
CN200380103262
三井化学株式会社
日本东京都
负型感光性树脂组合物
CN200380102924
旭硝子株式会社
日本东京
抗蚀组合物
CN200380102724
旭硝子株式会社
日本东京
与厚膜糊料相容的保护层
CN200380103383
纳幕尔杜邦公司
美国特拉华州威尔明顿
抗蚀图增厚材料及其形成方法、半导体器件及其制造方法
CN200410088021
富士通株式会社
日本神奈川县
光刻装置和器件制造方法
CN200510079476
ASML荷兰有限公司
荷兰维尔德霍芬
印花镍网高温固化膜剥离剂、其配制方法及其应用
CN200510039051
朱守诚
230088安徽省合肥市长江西路669号国家大学科技园C505
用于去除(光致)抗蚀剂的组合物
CN200510077285
东进世美肯株式会社
大韩民国仁川市
用于抗蚀剂剥离室的裸铝隔板
CN200510079142
兰姆研究公司
美国加利福尼亚
用于制造可光成像黑色电极的可水显影光成像厚膜组合物
CN02820226
E.I.内穆尔杜邦公司
美国特拉华州
用于感光树脂组合物的涂敷性能改善剂和含有这种改善剂的感光树脂组合物
CN200380104035
AZ电子材料(日本)株式会社
日本国东京都
光刻胶用抗反射组合物
CN200380103776
AZ电子材料美国公司
美国新泽西
在交替相移掩模中着色局部着色的设计的系统
CN200510071825
国际商业机器公司
美国纽约
一种微纳米结构图案的转印装置及方法
CN200410050075
财团法人工业技术研究院
中国台湾
厚膜构件图案的制造方法
CN200510081831
佳能株式会社
日本东京
光致抗蚀剂组合物及其无旋转涂布法、有机层图案制造方法、液晶显示器
CN200510072054
三星电子株式会社
韩国京畿道
辐射敏感树脂组合物
CN200510079171
住友化学株式会社
日本国东京都
辐射敏感的树脂组成物、固化树脂图案与液晶显示器
CN200510079868
住友化学株式会社
日本东京都
红外感光光敏组合物
CN200510083632
富士胶片株式会社
日本神奈川县
使用静态混合器和液-液离心机的树脂分级
CN200510068772
科莱恩金融(BVI)有限公司
英属维尔京群岛托尔托拉
曝光系统的仿真方法和仿真装置
CN200410027941
鸿富锦精密工业(深圳)有限公司;群创光电股份有限公司
518109广东省深圳市宝安区龙华镇油松第十工业区东环二路2号
图形描绘装置和图形描绘方法
CN200510066854
大日本网目版制造株式会社
日本京都府
光刻显影装置及采用该装置制造滤色片基板的方法
CN200510077259
LG.菲利浦LCD株式会社
韩国首尔
描绘装置及描绘方法
CN200510078585
富士胶片株式会社
日本神奈川县
对准系统及对准方法
CN200510088148
友达光电股份有限公司
台湾新竹市
光致抗蚀剂的显影方法及显影装置
CN200510082200
夏普株式会社
日本大阪市
光致抗蚀剂残渣及聚合物残渣的除去组合物
CN200510081085
关东化学株式会社
日本东京都
形成凸缘相移掩模及利用凸缘相移掩模来形成半导体器件的方法
CN03818958
飞思卡尔半导体公司
美国得克萨斯
模板
CN200380104384
英根亚控股有限公司
英属维尔京群岛托尔托拉岛
使用超高耐热性正型感光组合物的图案形成方法
CN200380104283
AZ电子材料(日本)株式会社
日本国东京都
含有无卤素着色剂的感光树脂组合物
CN200380104325
西巴特殊化学品控股有限公司
瑞士巴塞尔
可固化组合物、固化产品、滤色器和液晶显示器件
CN200480001615
三菱化学株式会社
日本东京都
辐射敏感树脂组合物
CN200380104596
日本瑞翁株式会社
日本东京都
正型感光性组合物
CN200480001589
株式会社新克
日本国千叶县
光刻系统
CN200380104096
迈普尔平版印刷IP有限公司
荷兰代尔夫特
平版印刷用冲洗液以及用其形成抗蚀图案的方法
CN200380104413
AZ电子材料(日本)株式会社
日本国东京都
防止芯片破裂的控制装置
CN200420009726
台湾积体电路制造股份有限公司
台湾省新竹市新竹科学工业园区力行六路八号
顶端抗反射涂料聚合物、制法及顶端抗反射涂料组合物
CN200510062817
海力士半导体有限公司
韩国京畿道
纳米压印用紫外光固化阳离子型刻蚀胶
CN200510043034
西安交通大学
710049陕西省西安市咸宁路28号
曝光装置以及曝光方法
CN200510083530
富士胶片株式会社
日本神奈川县
制版用环保洗版液
CN200410027994
广州荣键贸易发展有限公司
510600广东省广州市达道路12金达大厦707-709
局部眩光校正
CN03825736
富士通株式会社
日本国神奈川县
LCD制造用正型光致抗蚀剂组合物和抗蚀图的形成方法
CN200380104752
东京应化工业株式会社
日本神奈川县
用于形成抗反射涂层的组合物
CN200380104698
东京应化工业株式会社
日本神奈川县
掩膜图案及其形成方法、涂料组合物的制备方法、和制造半导体器件的方法
CN200510064902
三星电子株式会社
韩国京畿道
波纹缺陷检查方法及装置、以及光掩模的制造方法
CN200510075809
HOYA株式会社
日本东京
灰色调掩模和灰色调掩模的制造方法
CN200510084068
HOYA株式会社
日本东京
光致抗蚀剂组合物
CN200510080628
东进世美肯株式会社
韩国仁川市
片材形成用组合物、其制造方法、及显示屏制造用片材状未烧结体
CN200510080926
东京応化工业株式会社
日本川崎市
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