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专利名称
专利号
A:人类生活需要
B:作业,运输
C:化学,冶金
D:纺织和造纸
E:固定构造
F:机械工程
G:物理
H:电学
分 类 >>
G:物理
>> 图纹面的照相制版工艺,例如:印刷工艺,半导体器件的加工工艺;其所用材料;其所用原版;其所用专用设备
名称
专利号
申请者
地址
用于步进机对准的自补偿记号装置
CN01807939
皇家菲利浦电子有限公司
荷兰艾恩德霍芬
化学增强光刻胶及一种光刻胶合成物
CN01807989
东进瑟弥侃株式会社
韩国仁川市西区
光刻胶剥离剂组合物
CN01808573
东进瑟弥侃株式会社
韩国仁川市
纳米结构
CN01809009
英国技术集团国际有限公司
英国伦敦
曝光控制光掩模及其形成方法
CN01809469
西孝
日本茨城县
有关模板的制造方法和制成的模板
CN01809984
奥布杜卡特公司
瑞典马尔默
光刻胶去除剂混合物
CN01810235
东进瑟弥侃株式会社
韩国仁川市
感光性树脂组合物、感光性元件、保护层图形的制造方法和印刷电路布线板的制造方法
CN01810239
日立化成工业株式会社
日本东京都
多光束图案生成器
CN01810270
微激光系统公司
瑞典泰比
负作用化学放大的光刻胶组合物
CN01811264
科莱恩金融(BVI)有限公司
英属维尔京群岛托尔托拉
使用液/液离心机降低成膜树脂中金属离子含量的方法
CN01811309
科莱恩金融(BVI)有限公司
英属维尔京群岛托尔托拉
衬底及与该结构的制造相关的工艺
CN01811373
奥布杜卡特公司
瑞典马尔默
感光性树脂组合物、使用它的感光性元件、光刻胶图案的制造方法及印刷电路板的制造方法
CN01811577
日立化成工业株式会社
日本东京都
防止显影缺陷的方法和材料
CN01811661
克拉瑞特国际有限公司
瑞士穆滕茨
基于近红外分光计控制光致抗蚀剂剥离过程的方法和再生光致抗蚀剂剥离剂成分的方法
CN01811689
东进半导体化学株式会社
韩国仁川
基于近红外分光计控制金属层蚀刻过程及再生用于金属层蚀刻过程的腐蚀剂的方法
CN01811690
东进半导体化学株式会社
韩国仁川
涂覆方法和涂覆设备
CN01811806
FSI国际公司
美国明尼苏达
制造导电图案用的材料和方法
CN01811836
爱克发-格法特公司
比利时莫策尔
集成电路制造方法
CN01812451
株式会社日立制作所
日本东京
形成平版印刷用填隙材料的组合物
CN01812504
日产化学工业株式会社
日本东京都
用于深紫外线的光刻胶组合物及其方法
CN01812974
科莱恩金融(BVI)有限公司
英属维尔京群岛
晶片光刻法中显影工艺的改进方法
CN01813412
硅谷集团公司
美国加利福尼亚州
热敏性平版在印刷机上显影
CN01813938
加里·滕钢辉
美国马萨诸塞州
纳米电子电路的制造
CN01814961
尤尼瑟驰有限公司
澳大利亚新南威尔士悉尼
压印制版用的透明模板与衬底之间间隙和取向的高精度控测方法
CN01815367
得克萨斯州大学系统董事会
美国得克萨斯州
用于平版印刷工艺中的高分辨率重叠对齐方法和系统
CN01815505
得克萨斯州大学系统董事会
美国得克萨斯州
影印用于平版印刷工艺中的自动化液体分配的方法和系统
CN01815560
得克萨斯州大学系统董事会
美国得克萨斯州
紫外线可固化树脂组合物以及包含该组合物的光防焊油墨
CN01815597
互応化学工业株式会社
日本国京都府
紫外线固化树脂组合物以及包含该组合物的光防焊油墨
CN01815751
互応化学工业株式会社
日本国京都府
双层制模白板及其制造工艺
CN01815867
微激光系统公司
瑞典泰比
感光性元件、抗蚀图形的形成方法和印刷电路板的制造方法
CN01815901
日立化成工业株式会社
日本东京都
利用光阻流修补针孔缺陷
CN01816179
先进微装置公司
美国加利福尼亚州
含芳香酸抑制剂的光致抗蚀剂剥离剂/清洁剂组合物
CN01816265
阿什兰公司
美国俄亥俄
抗蚀图、其制造方法及其应用
CN01816402
日立化成工业株式会社
日本东京都
正感光性聚酰亚胺树脂组合物
CN01816823
日产化学工业株式会社
日本东京
光引发反应
CN01816920
林特弗德有限公司
英国兰开夏
微刻用光刻胶组合物中的溶解抑制剂
CN01817217
纳幕尔杜邦公司
美国特拉华州威尔明顿
正型光敏性环氧树脂组合物和采用该组合物的印制电路板
CN01818855
万迪科股份公司
瑞士巴塞尔
形成图形的方法和在其中使用的处理剂
CN01818879
克拉瑞特国际有限公司
瑞士穆滕茨
用激光结晶化法加工衬底上半导体薄膜区域的方法和屏蔽投影系统
CN01819257
纽约市哥伦比亚大学托管会
美国纽约市
含有光刻胶组合物的多层元件及其在显微光刻中的应用
CN01819722
纳幕尔杜邦公司
美国特拉华州威尔明顿
聚合物掺混物及其在用于微细光刻的光刻胶组合物中的应用
CN01819800
纳幕尔杜邦公司
美国特拉华州威尔明顿
聚合物中的保护基,光刻胶及微细光刻的方法
CN01819801
纳幕尔杜邦公司
美国特拉化州
可辐射固化的组合物
CN01819953
UCB公司
比利时布鲁塞尔
光固化性和热固化性树脂组合物
CN01820016
学校法人神奈川大学;太阳油墨制造株式会社
日本神奈川县
用于室温下低压微刻痕和毫微刻痕光刻的模板
CN01820435
德克萨斯州大学系统董事会
美国得克萨斯州
离子注入之后清除光抗蚀剂的方法
CN01820981
艾克塞利斯技术公司
美国马萨诸塞州
利用相移孔隙的投影式光刻
CN01821186
因芬尼昂技术北美公司
美国加利福尼亚州
衰减极端紫外相移掩模的制造方法
CN01821300
先进微装置公司
美国加利福尼亚州
微结构的制造方法
CN01821809
国际商业机器公司
美国纽约
半导体显影剂
CN01822782
胡茨曼石油化学公司
美国得克萨斯
抗蚀剂剥离剂组合物
CN01823274
东进瑟弥侃株式会社
韩国仁川市西区
抗蚀剂剥离剂组合物
CN01823277
东进瑟弥侃株式会社
韩国仁川市西区
抗蚀剂剥离剂组合物
CN01823279
东进瑟弥侃株式会社
韩国仁川市西区
半导体元件的图案转移的方法
CN02103086
旺宏电子股份有限公司
台湾省新竹科学工业园区新竹市力行路16号
感光性树脂层洗净用稀释剂
CN02103414
株式会社德成
韩国京畿道
有机底部抗反射涂布层的蚀刻方法
CN02103423
旺宏电子股份有限公司
台湾省新竹科学工业园区力行路16号
化学放大型正性抗蚀剂组合物
CN02132225
住友化学工业株式会社
日本国大阪府
生产光敏抗蚀剂组合物的方法及用该组合物生产半导体元件的方法
CN02142837
克拉里安特国际有限公司
瑞士穆坦兹
化学放大抗蚀组合物
CN02152489
三星电子株式会社
韩国京畿道水原市
负性感光树脂组合物和使用该组合物的显示装置
CN02800711
克拉瑞特国际有限公司
瑞士穆滕茨
相移掩模
CN03120248
海力士半导体有限公司
韩国京畿道利川郡
制作平滑的对角组件的数字光刻系统
CN03143097
鲍尔半导体公司
美国得克萨斯
感光性膏状物、等离子体显示器及其制造方法
CN03145058
东丽株式会社
日本东京都
阵列式光探针扫描集成电路光刻系统中的对准方法及其装置
CN03153502
清华大学
100084北京市海淀区清华园清华大学
剥离剂、及其剥离方法、剥离剂循环设备及剥离剂控制装置
CN03154358
东进化成工业株式会社
韩国京畿道
转移方法和有源矩阵基板的制造方法
CN03157964
精工爱普生株式会社
日本东京都
包含复层滑动膜的激光成像印刷版
CN00818152
麦克德米德图像技术有限公司
美国佐治亚州
自对准的混合工艺和元件
CN00818573
康宁股分有限公司
美国纽约州
结晶衬底的对准方法和装置
CN00818696
布克哈姆技术公共有限公司
英国牛津郡
感光性树脂组合物
CN00818775
昭和高分子株式会社
日本东京
应用远紫外区辐射源和在该区具有宽光谱带的多层镜的光刻设备
CN00818880
法国原子能委员会
法国巴黎
印刷电路板制造中的非线性图像畸变校正
CN00819083
克雷奥以色列有限公司
以色列赫兹利亚皮图阿
利用氟化氩曝光光源制造半导体器件的方法
CN200310123524
海力士半导体有限公司
韩国京畿道
光刻设备及装置制造方法
CN200410045154
ASML荷兰有限公司;卡尔蔡司SMT股份公司
荷兰维尔德霍芬
复杂图案的相移掩膜
CN00819729
数字技术公司
美国加利福尼亚州
用于印版处理的机器
CN00819884
德格拉夫公司
意大利埃马纽勒
用于深紫外线辐射的光刻胶组合物
CN00816779
科莱恩金融(BVI)有限公司
英属维尔京群岛托尔托拉
用于冲洗光致抗蚀剂的稀释剂和处理光致抗蚀剂层的方法
CN00817711
三星电子株式会社;克拉里安特国际有限公司
韩国京畿道
正型感光性树脂先质及其制造方法
CN99801861
东丽株式会社
日本东京
制作金属相片的方法
CN200410033326
钰德科技股份有限公司
台湾省桃园县
抗蚀材料以及利用该材料形成图案的方法
CN200510063016
松下电器产业株式会社
日本大阪府
正型抗蚀剂组合物
CN200510062425
东京应化工业株式会社
日本神奈川县
正型抗蚀剂组合物
CN200510062432
东京应化工业株式会社
日本神奈川县
薄膜工件的切割方法
CN200410026777
鸿富锦精密工业(深圳)有限公司;鸿海精密工业股份有限公司
518109广东省深圳市宝安区龙华镇油松第十工业区东环二路2号
图形曝光方法以及图形曝光装置
CN200510008894
日立比亚机械股份有限公司
日本神奈川
一种调焦调平检测装置
CN200510025462
上海微电子装备有限公司
201203上海市浦东新区张东路1525号
光刻设备及器件制造方法
CN200510059568
ASML荷兰有限公司
荷兰维尔德霍芬
曝光装置
CN200510062426
富士胶片株式会社
日本神奈川县
曝光装置及方法
CN200510062475
佳能株式会社
日本东京
曝光装置及器件制造方法
CN200510062563
佳能株式会社
日本东京
光刻装置和器件制造方法
CN200510062626
ASML荷兰有限公司
荷兰维尔德霍芬
曝光装置及其曝光方法、校正方法
CN200510062944
富士胶片株式会社
日本神奈川县
激光绘图装置、激光绘图方法以及光掩模的制造方法
CN200510063772
HOYA株式会社
日本东京
光刻设备和设备制造方法
CN200510071694
ASML荷兰有限公司
荷兰维尔德霍芬
正相抗蚀膜的剥离方法、曝光用掩模的制造方法以及抗蚀剂剥离装置
CN200510059701
HOYA株式会社
日本东京
光致抗蚀剂剥离剂组合物
CN200510063722
东友FINE-CHEM株式会社
韩国全罗北道
用于将图案转印到物体的设备
CN03820323
奥博杜卡特股份公司
瑞典马尔默
用于喷砂保护层的光聚合树脂组合物
CN03820942
可隆株式会社
韩国光州市
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